El WF6 se utiliza principalmente como materia prima para el proceso de deposición química en fase de vapor (CVD) de tungsteno metálico en la industria electrónica. El WSi2 fabricado a partir de WF6 puede emplearse como material de cableado en circuitos integrados a gran escala (LSI), así como como materia prima para electrodos semiconductores, flúor, agentes químicos, catalizadores de polimerización, materiales ópticos, etc.